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洁净区内输送一般物料的管道宜采用不锈钢材料，常用的有304(06Cr19Ni10)，316(06Cr17Ni12Mo2)，304L(022Cr19Ni10)，316L(022Cr17Ni12Mo2)。对于输送无菌介质，水应当无毒、耐腐蚀，宜采用低碳不锈钢材料，ASME BPE 推荐使用 316L 不锈钢，并且内外达到一定抛光度要求，使用自动焊接机焊接。对于常用的几种不锈钢主要区别为：
304 的碳含量小于 0.08%，铬含量为 18% ～ 20%，镍含量为 8% ～ 11%，壁厚小于 6 mm 的管道焊接不需焊后热处理；但对于壁厚大于 6 mm 的管道，需要较长的焊接时间。304L 的碳含量小于 0.03%，相比 304 而言，具有更好的焊接性能以及无碳化物熔析。
气体管道的干管在厂房的进 口处，宜设置入口总阀、压力表、真空表、超压切断、放散管、计量装置、减 压装置及过滤器等。在室内气体干管的末端应当连接管径不小于 DN20 的管道， 并延伸到走廊端头或者其他适当的地方引下降管，在下降管上装设吹除阀，同 时设置缓冲箱。吹除时装设临时软管接至排风管或其他安全地方排出。掺杂气 体的主管、支管及分支管宜明装敷设。主、支管管末端可不设吹除阀。
常用高纯气体管道应根据所输送的不同的气体和用途选用不同品种的奥氏 体不锈钢管，尽量不用铜材质造的管道，按纯度要求≥99.9999 应采用不锈钢 管。≥99.99 宜采用不锈钢管。＜99.99 可用无缝钢管。气体终端纯化装置入 口侧的高纯气体管道一般选用 0Cr18Ni9，0Cr19Ni10 有缝或无缝不锈钢管，但 对于不经过气体终端纯化处理而直接通往用气点的高纯气体管道宜采用无缝 不锈钢管。气体终端纯化装置出口侧的超纯气体管道及掺杂气体的管道一般选 用 0Cr17Ni11M02，1Cr18Ni11Nb 无缝不锈钢管道。接至工艺设备的管道应选用 不锈钢管或不锈钢波纹管道。不能使用聚四氟乙烯管或其他软管。
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