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高（超）纯气体管线长度应尽量短，根据气体耗量确定管径，不宜设预留 口，不应出现“盲管”等不易吹除的部位；在气体终端纯化装置的进、出口处， 关键工艺设备的入口处以及必须进行取样的管段上应设置取样口。
气体管道穿过洁净室的墙壁、楼板时，在墙壁（或楼板）的孔洞内管道不 应有焊缝，在孔洞的两侧应用不锈钢板封盖，不锈钢板与墙壁（或楼板）之间 应加设橡胶垫，不锈钢板用螺钉固定在墙壁（或楼板）之间，均应涂以硅胶密 封剂进行密封。
为确保输送至用气设备的气体质量，洁净气体管道与用气设备之间应用不锈钢金属软管连接，不宜采用非金属软管。在实验室集中供气系统高纯气体管道施工结束后，保证管道系统不被污染，采用高纯气对洁净气体管道进行吹扫，以保证安装的管道达到洁净度的要求。实验室洁净气体管道可能会承受很多外力的作用，比如本身的重量、风雪载荷、热胀冷缩的热应力等，为了保证洁净气体管道的强度和刚度，必须设置各种支架。
退火炉里面的温度是否达到规定温度。不锈钢焊管热处理一般是采取固溶热处理，也就是人们平常所说的“退火”，温度范围为1040~1120℃。你也可以通过退火炉观察孔观察，退火炉里面的不锈钢焊管应为白炽状态，但没出现软化下垂。退火气氛。一般都是采用不锈钢焊管纯氢作为退火气氛，气氛纯度是99.99%以上，如果气氛中另一部分是惰性气体的话，纯度也可以低一点，但是不能含有过多氧气、水汽。保护气压力。为了防止出现微漏，炉内保护气要保持一定的正压，如果是氢气保护气，一般要求二万帕以上。
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